24

Vacuum operation of comb-drive micro display mirrors

Année:
2009
Langue:
english
Fichier:
PDF, 885 KB
english, 2009
26

Air damping models for micro- and nano-mechanical beam resonators in molecular-flow regime

Année:
2016
Langue:
english
Fichier:
PDF, 1013 KB
english, 2016
32

Wafer-level vacuum package of two-dimensional micro-scanner

Année:
2017
Langue:
english
Fichier:
PDF, 2.09 MB
english, 2017
38

Wedge Surface Plasmon Polariton Waveguides Based on Wet-Bulk Micromachining

Année:
2019
Langue:
english
Fichier:
PDF, 3.37 MB
english, 2019